净化工程中使用的FFU有什么区别
当过滤器为初阻力,且保证FFU送风断面风速为0.35m/s时,不同FFU的机外余压均在100Pa左右,有的高达130Pa。
当FFU送风断面风速为0.45m/s时,各机组的机外余压,都能在60Pa以上。
当FFU送风断面风速为0.45m/s时,被测的FFU的机外余压都是足以克服循环通道上的阻力。
FFU的声压级噪声大多在57dB(A)~59dB(A)之间。比较好的品牌其噪声在54dB(A)。
各不同牌的FFU的能耗大多在160~180W,只有个别品牌的能耗大,高达350W是一般能耗的一倍。
净化工程中常用的净化设备
风淋传递窗:
1、风淋传递窗根据结构不可分为:风淋传递窗和落地式风淋传递窗;
2、风淋传递窗根据箱体材质不同可分为:不锈钢风淋传递窗、外钢板内不锈钢风淋传递窗等,(传递窗内胆均为砂面不锈钢);
3、传递窗根据互锁方式不同可分为:电子互锁风淋传递窗及机械互锁风淋传递窗。
FFU 风机过滤单元: FFU英文全称(Fan Filter Unit)具有可模块化连接使用的特点。
直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。洁净厂房和人员净化用室设置的外窗,应采用双层玻璃金属窗,并应有良好的气密性。对于硅片生产zui佳温度范围为35—45%。现在我们国家的经济科技在发展,同时带动了社会各行各业在告诉发展中。以净化工程这个行业为例,在目前呈现一片喜人的发展态势。
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