真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅镀膜机射、MBE分子束外延镀膜机和PLD激光溅射沉积镀膜机等很多种。主要是分成蒸发和溅射两种。在真空镀膜设备中需要镀膜的被成为基片,镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜。
膜层的特点:具有高硬度、高耐磨性(低摩擦系数)、很好的耐腐蚀性和化学稳定性等特点、表面细腻光滑并富有金属光泽同时颜色均匀一致,大幅度提高工件的外观装饰性能。在真空室中利用弧光(或辉光)放电所产生的能量将靶材(钛等金属或合金)直接蒸发(或溅射)离化生成金属离子,并通过电场进行加速与反应气体生成金属化合物,沉积在工件表面.其可以在产品表面镀覆金黄色、黄铜色、香槟色、银白色、黑色、玫瑰色、古铜色、咖啡色、紫铜色、褐色、深黑色等多种美观耐用的装饰膜。真空镀膜机的原理
真空主体——真空室根据加工产品的要求差异,大小也不一。目前应用的真空室有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。燃烧室由不锈钢制成,不需要生锈、坚固等。真空室的所有部分都设有连接阀,用于连接各种泵。
辅助抽气系统:排气系统是真空镀膜机的重要组成部分,主要由机械泵、增压泵(主要引入罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。机械泵首先将真空室抽入小于2.0 * 10-2 pa 的低真空状态,为扩散泵的后续真空抽吸提供了前提,然后在扩散泵的真空室抽吸时,机械泵与油扩散泵串联,完成抽吸作用。
真空镀膜机主要是指需要在高真空度下进行的镀膜,包括真空蒸发镀膜机、真空多弧离子镀膜机、真空中频磁控溅射镀膜机、多功能中频磁控溅射多弧复合离子镀膜机、真空光学(电子束蒸发)镀膜机等。
真空镀膜机的操作注意事项
1、真空电镀机操作员要穿着整洁,袖口扣紧(佩戴袖套),上衣下摆不能敞开,不得穿拖鞋、高跟鞋;
2、检查电路各控制开关能否正常断开闭合,电压指示380±20V;
3、检查各螺钉处连接是否牢固,电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否良好;所有电器的开关在零或者“关”的位置上;
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