1)过滤:将包含碳化硅、硅、杂质及分散液的含硅砂浆过滤,得到初步滤除分散液含杂质的碳化硅/硅混合物;
2)残液去除:对初步滤除分散液含杂质的碳化硅/硅混合物进行加热,温度>250℃,使残留的分散液挥发,获得含杂质的碳化硅/硅混合物;
3)酸洗除杂质:将含杂质的碳化硅/硅混合物浸置于酸性溶液或包含有助剂的酸性溶液中,通过酸性溶液溶解碳化硅/硅混合物中的杂质,再过滤去除溶有杂质的酸性溶液,获得初步去除杂质的碳化硅/硅混合物;
碳化硅的呈色原因有多种不同的解释。一般认为是由外来杂质的存在引起的,如,以碳化硼的形式引入硼时,会使晶体呈黑色;当晶体中含氮时则为绿色。
碳化硅的外观颜色除与晶体本身的色泽有关外还与自然光在晶体表面薄膜的干涉现象有关。当碳化硅晶体表面的氧化硅薄膜厚度不同时,或对光线的反射角度不同时,碳化硅晶体表面的呈色亦名不相同。
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