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Shimadzu EI-D2003M岛津磁悬浮分子泵控制器输入电压单相AC200～240V，对应的控制器：Shimadzu TMP-2003M/MC、TMP-2003LM/LMC

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真空泵的作用是制造真空，其结构形式多样，有离心式、膜片（隔膜）式、活塞式、液环式、旋片式、射流式。真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵，其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

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一般的检漏仪只能设置大于某一漏率的报警值。因此在系统检漏时，当分流比过大却没有设置相应的分流比，或者当检漏阀门关闭或堵塞时，就有可能错过泄漏。

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利用装有叶片的叶轮高速旋转，将机械能转换为液体的动能与压能而工作的泵，称为叶片泵。根据被抽送液体流出叶轮的方向，可分为离心式、轴流式和混流式三种类型

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多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。