高纯氩气的含义
高纯氩气在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩气可用作色谱载气,也可用作大规模集成电路中混合气体的稀释气。
在金属冶炼方面,氧、氩吹炼是生产优好钢的重要措施,每炼1t钢的亚气消耗量为1~3立方米。此外,对钛、锆、锗等特殊金属的冶炼,以及电子工业中也需要用亚作保护气。
高纯氩气要注意什么
1.使用氩气前,将氩气储罐内的压力设置为0.8-1.2MPa,打开亚气表使压力达到0.18-0.25Mpa,在满足所有管道连接装置的使用要求后,将氩气表的压力控制在稳定位置。
2.在使用过程中,必须每层检查储罐压力。如果压力接近设备使用要求的上限和下限,或达到或接近亚罐的下限储量,应增加观察频率,并及时报告更换。
3.增压操作:当储罐压力接近设备使用要求的下有时间的,启动增压阀加压。操作步骤为:缓慢打开增压阀。如果储罐的压力表指示达到设备的正常工作压力,并且低于储罐的大工作压力,则关闭增压阀。
制取高纯氩的方法
1,深冷分馏法,该法设备大而且复杂, 只适用于空分制气,不适用于终端净化,例如中国权利;
2,合金吸气法使用锆铝合金作杂质吸收剂,英国Sircal Instruments Ltd.生产的'MP-2000RARE GAS PURIFIER' 使用金属钛作杂质吸收剂。该法由于吸附容量小,吸收剂贵,只适用于5N级的氩气作原料的深度净化;
3,催化脱氧分子筛脱水作初级净化,再用合金吸气剂作深 度净化,但由于脱氧剂的脱氧容量低,只适用于4N 级氩气作原料制取6N级高纯氩,并且再生需要使用氩气和抽真空很不方便。
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