韶关DV5000真空泵维修价格欢迎来电「东欧真空」恐怖主义的定义

爱德华真空泵维修：真空容积，检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

泵系列

Edwards 获得的螺旋转子设计 针对高可用性而设计，它提供的抽取速度，并且是先进的热 管理系统的一部分，可以程度地提高泵性能并延长密封、轴承和 电机的使用寿命，以确保泵具有长的使用寿命。

GXS160

GXS160/1750

GXS250

GXS250/2600

GXS450

GXS450/2600

GXS450/4200

GXS750

GXS750/2600

GXS750/4200

应用

目标应用包括：

负载锁

计量

传输腔

灰化/剥离

PVD

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。

受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。

真空泵维修不仅是单纯的零件更换，还涉及真空泵转子，叶片，轴位等精度高，难度大的修复工序，对于零件安装也是真空泵维修技术范围之内，这些因素都决定着真空泵维修后真空泵能否按之前的技术进行运转，所以选择好的真空泵维修厂家至关重要。

真空泵才能正常运转。另外, 启动新泵或真空泵有相当一段时间没有运行时, 还应在泵启动后检查油位是否有轻微下降(3～ 5 mm ) , 这个下降表明泵是带油启动。当发现油位不在工作刻线范围内时,应及时注油至工作刻线范围内。

真空泵结构特点,转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速.

要注意真空泵当时的运行状况叶轮由于长时间的锈蚀和冲蚀，而且材质为铸铁，比较脆，容易碎裂，碎裂后对泵体造成严重的磨损，严重的甚至造成泵的报废，影响生产。