真空镀膜与您分享高频感应加热蒸发
高频感应加热蒸发是将装有镀膜材料的坩埚放置在高频螺旋线圈的中央,使镀膜材料在高频电磁场的感应下产生强大的涡流电流和磁滞效应,真空镀膜市场,致使膜层升温,直至气化蒸发。蒸发源一般有水冷高频线圈和石墨或者陶瓷(氧化镁、氧化铝、氧化硼等)坩埚组成。高频电源采用的频率为1万至几十万赫兹,输入功率为几至几百千瓦,膜材体积越小,感应频率越高。感应线圈频率通常用水冷铜管制造。高频感应加热蒸发方法的缺点是不易对输入功率进行微调,它有下述优点:
1、蒸发速率大:
2、蒸发源温度均匀稳定,真空镀膜加工,不易产生镀料液滴飞溅的现象,也可以避免沉积在薄膜上产生现象:
3、蒸发源一次装料,温度控制比较容易,操作简单。
采用PVD真空镀膜处理,清除镀膜室内的尘埃,设置洁净度高的工作间,真空镀膜,保持室内高度清洁,是镀膜工艺对环境的基本要求。在空气湿度大的地方,除镀前要对基片、真空室各部件仔细清洗外,还要进行烘烤除气。为了防止油进入真空室,真空镀膜加工,应注意油扩散泵返油,对高热能的扩散泵必须采取挡油措施。已清洗过、不能存放于大气环境的洁净表面,应采用密封容器或保洁箱储存,真空镀膜工艺,减少尘垢
pvd真空镀膜炉与您分享使用PVD真空镀膜,具有很好的化,也具有很好的抗腐蚀性的功能,因为其本身的化学性质是非常稳定的,在一些普通的环境当中,不会出现褪色,也不会出现失去光泽的问题,而且正常的情况之下去进行使用,也不会被损坏。如果上面弄上了油漆或者是其他的痕迹,在清理的过程中也都会特别的容易,即便是在很多比较潮湿的城市当中进行使用,也不会受到影响。
pvd真空镀膜炉与您分享真空蒸镀的设备及物理原理
真空蒸镀设备主要由真空室和抽真空系统组成,真空室内有蒸发源(即蒸发加热器)、基片及基片架、基片加热器、排气系统等。
将镀膜材料置于真空室内的蒸发源中,在高真空条件下,通过蒸发源加热使其蒸发,当蒸气分子的平均自由程大于真空室的线性尺寸以后,膜材蒸气的原子和分子从蒸发源表面逸出后,很少受到其他分子或原子的碰撞与阻碍,可直接到达被镀的基片表面上,由于基片温度较低,膜材蒸气粒子凝结其上而成膜。
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