东莞市清溪利成感光五金厂本厂主要做曝光显影工艺,平面、圆弧面、凹凸面、喷砂1氧2氧阳极、五金丝印.五金腐蚀等产品加工,有多年经验,有需要以上的工艺欢迎您的到来参观和洽谈,可免费打。
显影的主要过程如下:对准曝光一曝光后烘一显影一坚膜一显影检测。
显影检测(ADI , After Development Inspection )
ADI是检查硅片表面的缺陷。通常将一个无缺陷的标准图形存于电脑中,然后用每个芯片的图形与标准相比较,观察出
现多少不同的点,就会在硅片的defect map中显示多少个缺陷。
在显影溶解过程中,如果不能很好的控制显影过程,光刻胶图形就会出现显影不足,不完全显影,过显影等问题。
显影设备和图像形成装置的制造方法
在双成分显影系统中,虽然在图像质量方面存在问题,但由于易于为调 色剂提供电荷并且对调色剂的负担很小,因此双成分显影系统具有图像质量稳定性很高的 特征。
作为应对上述两种显影系统的问题的系统,已知的是在例如日本公开 No. 9-211970中所公开的混合显影系统。氧化着色的基本工序为铝材表面处理、氧化、着色和随后的水合封孔、有机涂层等处理过程。在该系统中,通过以下步骤来形成图像:在承载双 成分显影剂的传送辊(显影剂承载构件)与显影辊(调色剂承载构件)之间施加转送偏置, 以调色剂层来涂敷显影辊,以及通过使用调色剂来对感光构件(图像承载构件)的静电图 像进行显影。
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曝光显影
需要注意的当曝光不足时,由于单体聚合不彻底,在显影过程中,胶膜溶胀变软,线条不清晰,色泽暗淡,甚至脱胶,在蚀刻过程中翘膜、甚至脱落,影响蚀刻加工效果。
但曝光过度时会也会引起显影效果不良,胶膜发脆,留下残胶等弊病。曝光将产生图像线宽的偏差,过量的曝光会使图形线条变细,使产品线条变粗。根据显影后干膜的光亮程度,图像是否清晰,图形线宽是否与原底片相符来确定适当的曝光时间。
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