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边缘曝光装置，用于对基板的边缘进行曝光；
显影装置，用于对曝光后的基板进行显影，该边缘曝光装置位于该显影装置的入口处；
其中，该基板在被输送至该显影装置的过程中，被该边缘曝光装置进行边缘曝光。
东莞市清溪利成曝光显影
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