其中部分污染物氧化分解；废气继续通过加热区（上层，可采用电加热方式或加热方式）升温，催化燃烧防爆，并维持在设定温度；其再进入催化层完成催化氧化反应，催化燃烧活性碳吸附装置，即反应生成CO2和H2O，并释放大量的热量，以达到预期的处理效果。催化燃烧技术作为新的VOCs处理工艺之一，因为其净化率高，燃烧温度低（一般低于350℃），燃烧没有明火，不会有NOx等二次污染物的生成，安全节能环保等特点。采用窝蜂陶瓷状为载体的催化剂，阻力小，活性高。当有机蒸汽浓度达到2000ppm以上时，可维持自燃。
催化燃烧设备四大系统配置：在有机物废气的催化燃烧中，所要处理的有机物废气在高温下与空气混合易引起，安全问题十分重要。必须控制有机物与空气的混合比使之在下限。设备配有阻火除尘系统、防爆泄压系统、超温报警系统及先进自控系统。吸附有机物废气的活性炭层，可用催化燃烧后的废气进行脱附再生，吸附后的气体再送催化燃烧室进行净化，不需外部能量，运行费用低，节能。催化燃烧设备有以下四个优点：1。净化达97%，设备寿命长，阻力小。2。使用安全方便，设备中的除尘器、泄压孔等组件都有高温报警等保护设施。3。工作时只有风机消耗电功率，当废气浓度较低时，自动间歇补偿加热。4。余热可以用来烘干工艺制品，降低原烘道中的功率消耗，也可供工厂其它方面的热能回用。
催化燃烧设备在净化废气的过程中，具有安全、、耗能少等特点，并且在使用中也可以利用余热，辅助完成净化，因而受到人们的喜爱，在功能工业尾气处理行业应用广泛。催化燃烧设备组成单元：预热装置：包括废气预热装置和催化剂燃烧器预热装置。因为催化剂都有一个催化活性温度，对催化燃烧来说称催化剂起燃温度，必须使废气和床层的温度达到起燃温度才能进行催化燃烧。催化作用机理在一个化学反应过程中，催化剂的加入并不能改变原有的化学平衡，所改变的仅是化学反应的速度，而在反应前后，催化剂本身的性质并不发生变化。