反渗透系统是整个纯净水系统的部件，只有通过反渗透才能达到纯净水的标准。反渗透系统主要采用膜过滤工艺。然后水分子可以通过反渗透膜。超纯水设备又称做：超纯水器，超纯水机，超纯水仪，超纯水系统，实验室超纯水器等。超纯水机所生产的超纯水电阻率一般应大于10兆欧，10兆欧以上的水才叫超纯水。一般超纯水出水能达到18.25兆欧。超纯水系统设备的脱盐部件为进口反渗透膜组件，超纯水系统设备通常由预处理部分，反渗透主机部分，后处理部分共同组成。
高纯水设备发展到现在，由传统的混床工艺逐渐演变成EDI电去离子工艺，根据目前发展形势，EDI技术符合时代发展需求。医行业用超纯水对于水质的要求更严格。EDI装置是应用在反渗透系统之后，取代离子交换树脂，无需酸碱再生，具有水质稳定、运行费用低、操作管理方便、占地面积小等特点。超纯水设备采用预处理、反渗透技术、混床、EDI装置以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
反渗透超纯水设备是采用RO技术设计，关键部件、设备质量可靠，可扩展性强，结构合理占地小，水利用率高，能耗低，全自动化运行，操作维护简单。水回收率一般可达75%以上，脱盐率>98%。纯水设备，它采用的是主要是反渗透膜技术，反渗透膜上的孔径只有0.0001微米,而病毒的直径一般有0.02-0.4微米,普通细菌的直径有0.4-1微米。反渗透是在室温条件下，采用无相变的物理方法将含盐水进行脱盐、除盐。目前，超薄复合膜元件的脱盐率可达到99.5%以上，并可同时去除水中的胶体、有机物、细菌、病毒等。