洁净室净化工程
合理布置空间面积 合理布局首先要理顺工艺流程，避免迂回往返。工作室的平面空间应合理，既有利于操作，又便于维修，不应预留闲置面积和空间。这是为了节省运营成本，而且还考虑风量损失的问题，风管和空气过滤器会消耗部分风量，因此需要增加新的风量。合理的空间与面积，也有利于合理的分区，防止混杂事故。 应该引起注意的是：洁净室并非越大越好，面积和空间的大小关系着送风量的多少，决定着空调能耗的大小，影响工程的投资。但洁净室的空间面积也不可太小，太小可能不便于操作、维修。
净化工程之无尘车间首要净化设备装置
首，无尘净化车间进风体系要装置，新风过滤箱，净化空调（净化空调要分为初效/中效/三个过滤段）结尾有送风口。有必要时还装有净化增压箱。
第二，无尘净化车间回风体系要装置，回风口，过滤初效器，中效回风箱。
第三，进入无尘净化车间之前先进入缓冲区，缓冲区门装置电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜，空气 清新机。
第四，人和货品进入无尘净化车间须通过，风淋室，货淋室，传递窗首要传递小物品。
第五，在无尘净化车间内部分需求到达10-1000级当地装置笔直层流作业台，层流罩（FFU），洁净棚（可移式净化作业棚），自净器。测洁净室洁净度用，激光尘土粒子计数器。
手术室净化工程中的注意事项
净化中人和物的控制
人和物是洁净室的主要尘源，因此必须充分控制，例如：在进入净化房前，所有的人都要经过人净系统，更换无尘衣，并且要接受净化系统功能的基本教育。
手术室净化工程给排水和送风装置及电源手术室净化工程根据所要运行的手术室，提供必须的给排水装置，送风装置和电源，这些装置和所涉及的设备必须易于使用和设计，同时不得有勃于空气净化系统。
洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到 人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。生产区和储存区应有与生产规模相适应的空间面积，用以安置设备、物料，便于操作和维修。对于硅片生产zui佳温度范围为35—45%。地面可采用环氧自流坪地坪或高1级耐磨塑料地板，有防静电要求的，要选用防静电型。送回风管道一般用镀锌钢板，不宜选用玻璃棉类材料保温。照明应选用净化车间灯具。